Синтез тонких (130 нм) полупроводниковых пленок карбида кремния на кремнии методом ионной имплантации для микроэлектроники
Full Name of the work head: К.Х.Нусупов
Исполнители проекта: Н.Б.Бейсенханов
: Физ.-техн. ин-т
Inventory number: 0208РК01167
Registration number: 0107РК00576
Keywords: Кремний, Полупроводники, Карбид кремния, Тонкие пленки,
Многократной имплантацией в кремний ионов углерода синтезированы слои карбида кремния. Исследованы их структура и топография поверхности после обработки в водородной плазме и высокотемпературного отжига.
