Исследование основных закономерностей формирования аморфных и наноструктурированных пленок кремния с использованием кремнийсодержащих кластерных соединений: силилфосфина, силилборана и силилэтилена
Full Name of the work head: Ф.А.Мукашев
Исполнители проекта: Ф.А.Мукашев
: НИИ эксперим. и теорет. физ. при КазНУ
Inventory number: 0208РК01048
Registration number: 0106РК00955
Keywords: Аморфный кремний, Силан, Кремний, Наноструктурные материалы, Пленочные материалы,
Синтезированы силан, силанопроизводные газы с Si-P-, Si-C-, Si-B-связями для полупроводниковой технологии. Проведена глубокая очистка силана с использованием цеолитов. Степень очистки газа - 99,999 %. Установлены рабочие режимы получения нелегированных и легированных пленок аморфного и нанокристаллического кремния методом разложения силана в тлеющем разряде на постоянном токе. Получены пленки аморфного гидрогенизированного кремния n-типа проводимости. Оптимальная температура подложки, при которой скорость осаждения пленок максимальна, - 450 {o}C. Изучена кинетика синтеза нелегированных пленок аморфного гидрогенизированного кремния. Изготовлены гетероструктуры "монокристаллический кремний - аморфный кремний" и "монокристаллический кремний - нанокристаллический кремний", исследованы их оптоэлектронные параметры.
