Разработка методов формирования кремний-углеродных пленок и нанокомпозитов на установке плазмохимического осаждения АХ5200-ЕСR и исследование их свойств
Руководитель проекта: Х.А.Абдуллин
Исполнители проекта: Х.А.Абдуллин
Организация: Физ.-техн. ин-т
Инвентарный номер: 0208РК01198
Регистрационный номер: 0107РК00569
Ключевые слова: Тонкие пленки, Наноструктурные материалы, Углеродные нанотрубки, Плазмохимия,
Отработаны режимы осаждения углеродных наноструктурированных слоев методом ионно-лучевого распыления и термического отжига. Исследованы морфология и фазовый состав углеродных слоев. Получены слои углеродных нанотрубок. Определены технологические условия получения слоев, состоящих из ориентированных углеродных нанотрубок.