Разработка методов формирования кремний-углеродных пленок и нанокомпозитов на установке плазмохимического осаждения АХ5200-ЕСR и исследование их свойств
Full Name of the work head: Х.А.Абдуллин
Исполнители проекта: Х.А.Абдуллин
: Физ.-техн. ин-т
Inventory number: 0208РК01198
Registration number: 0107РК00569
Keywords: Тонкие пленки, Наноструктурные материалы, Углеродные нанотрубки, Плазмохимия,
Отработаны режимы осаждения углеродных наноструктурированных слоев методом ионно-лучевого распыления и термического отжига. Исследованы морфология и фазовый состав углеродных слоев. Получены слои углеродных нанотрубок. Определены технологические условия получения слоев, состоящих из ориентированных углеродных нанотрубок.
