Изучена структура алмазоподобных и низкокоординированных пленок аморфного гидрогенизированного углерода и халькогенидных стеклообразных полупроводников. Показана возможность управления процессами структурообразования аморфного гидрогенизированного алмазоподобного углерода (а-С:Н) путем изменения в аморфной матрице соотношения sp/sp-координированных связей. Основным фактором, определяющим это соотношение, является температура осаждения.