ҒТА ұлттық қоры / ҒЗЖ туралы есептер

Синтез тонких (130 нм) полупроводниковых пленок карбида кремния на кремнии методом ионной имплантации для микроэлектроники

Жетекшінің аты-жөні, тегі: К.Х.Нусупов
Work head: Н.Б.Бейсенханов
: Физ.-техн. ин-т
Инвентарлық номер: 0209РК01325
Тіркелген номер: 0107РК00576
негізгі сөздер: Кремний, Полупроводники, Пленочные материалы, Тонкие пленки,