Исследование образования плазменно-пылевых структур в газовых разрядах в приложении к нано- и микроэлектронике
Full Name of the work head: Т.С.Рамазанов
Исполнители проекта: К.Н.Джумагулова, М.К.Досболаев
: НИИ эксперим. и теорет. физ. при КазНУ
Inventory number: 0207РК01434
Registration number: 0107РК00637
Keywords: Плазма, Плазменно-пылевые структуры,
Проведен трехмерный анализ плазменно-пылевых структур. Вычислены аксиальное и радиальное распределение электрического поля, функция распределения электронов по энергиям и макроскопические параметры пылевой плазмы стратифицированного тлеющего разряда низкой плотности в вертикально расположенной цилиндрической разрядной трубке. Определен заряд пылевых частиц. Построена одномерная солитонная модель переноса заряженных частиц и генерации токов в условиях развитой пыле-акустической неустойчивости. Исследованы спектроэнергетические характеристики пылевой плазмы высокочастотного разряда низкого давления.
