Разработка информационной системы напыления наноструктур паров металла на керамическую подложку из оксида бериллия
Full Name of the work head: У.К.Жапбасбаев
Исполнители проекта: Г.И.Рамазанова
: НИИ мех. и мат. при КазНУ
Inventory number: 0207РК01411
Registration number: 0107РК00613
Keywords: Наноструктурные материалы, Вакуумные технологии, Покрытия, Металлические покрытия,
Разработана методика проведения магнетронного напыления паров металлов на подложку из оксида бериллия в вакууме. Проведены эксперименты по подготовке поверхности керамических изделий под вакуумную металлизацию. Создана технология вакуумного напыления и фотолитографического проявления топологии рисунка на металлизированных изделиях из оксида бериллия.
