Синтез наноразмерных кластеров в аморфных пленках и нестехиометрических оксидах
Руководитель проекта: Е.А.Сванбаев
Исполнители проекта: В.Э.Никулин
Организация: НИИ эксперим. и теорет. физ. при КазНУ
Инвентарный номер: 0207РК01315
Регистрационный номер: 0106РК01154
Ключевые слова: Наноструктурные материалы, Кремний, Тонкие пленки,
Осуществлено осаждение пленок нестехиометрического оксида методом термического испарения и магнетронного распыления на подложки из кварцевого стекла. Проведено напыление серебра методом соиспарения или сораспыления. Образцы в виде тонких пленок нестехиометрического оксида кремния получены при остаточном давлении в камере (1-5).10{-3} Па. Изучены структура и состав пленок нестехиометрического оксида и металла при отжиге.