Синтез наноразмерных кластеров в аморфных пленках и нестехиометрических оксидах
Full Name of the work head: Е.А.Сванбаев
Исполнители проекта: В.Э.Никулин
: НИИ эксперим. и теорет. физ. при КазНУ
Inventory number: 0207РК01315
Registration number: 0106РК01154
Keywords: Наноструктурные материалы, Кремний, Тонкие пленки,
Осуществлено осаждение пленок нестехиометрического оксида методом термического испарения и магнетронного распыления на подложки из кварцевого стекла. Проведено напыление серебра методом соиспарения или сораспыления. Образцы в виде тонких пленок нестехиометрического оксида кремния получены при остаточном давлении в камере (1-5).10{-3} Па. Изучены структура и состав пленок нестехиометрического оксида и металла при отжиге.
