Синтез полупроводниковых наноразмерных пленок с резкими границами
Руководитель проекта: С.Ж.Токмолдин
Исполнители проекта: В.В.Клименов
Организация: Физ.-техн. ин-т
Инвентарный номер: 0207РК01302
Регистрационный номер: 0107РК00190
Ключевые слова: Наноструктурные материалы, Тонкие пленки, Полупроводники, Плазмохимия,
Разработаны методы плазмохимического газофазного осаждения и молекулярно-лучевой эпитаксии наноразмерных пленок полупроводниковых соединений AB и AB. Получены многослойные квантовые наноструктуры с резкими границами.