Разработка методов формирования кремний-углеродных пленок и нанокомпозитов на установке плазмохимического осаждения АХ5200-ЕСR и исследование их свойств
Руководитель проекта: Х.А.Абдуллин
Исполнители проекта: Х.А.Абдуллин
Организация: Физ.-техн. ин-т
Инвентарный номер: 0207РК01292
Регистрационный номер: 0107РК00569
Ключевые слова: Тонкопленочные материалы, Наноструктурные материалы, Тонкие пленки,
Отработаны режимы осаждения углеродных алмазоподобных пленок на различные подложки. Получены пленки поликристаллического алмаза, алмазоподобного углерода и слои, содержащие углеродные нанотрубки. Исследованы оптические спектры рамановского отражения, свидетельствующие о наличии нанотрубок, фотолюминесцентные, парамагнитные свойства полученных материалов, структурные свойства поликристаллического алмаза.