Разработка методов формирования кремний-углеродных пленок и нанокомпозитов на установке плазмохимического осаждения АХ5200-ЕСR и исследование их свойств
Full Name of the work head: Х.А.Абдуллин
Исполнители проекта: Х.А.Абдуллин
: Физ.-техн. ин-т
Inventory number: 0207РК01292
Registration number: 0107РК00569
Keywords: Тонкопленочные материалы, Наноструктурные материалы, Тонкие пленки,
Отработаны режимы осаждения углеродных алмазоподобных пленок на различные подложки. Получены пленки поликристаллического алмаза, алмазоподобного углерода и слои, содержащие углеродные нанотрубки. Исследованы оптические спектры рамановского отражения, свидетельствующие о наличии нанотрубок, фотолюминесцентные, парамагнитные свойства полученных материалов, структурные свойства поликристаллического алмаза.
