Национальные ресурсы / Отчеты о НИР

Разработка методов формирования кремний-углеродных пленок и нанокомпозитов на установке плазмохимического осаждения АХ5200-ЕСR и исследование их свойств

Руководитель проекта: Х.А.Абдуллин
Исполнители проекта: Х.А.Абдуллин
Организация: Физ.-техн. ин-т
Инвентарный номер: 0207РК01292
Регистрационный номер: 0107РК00569
Ключевые слова: Тонкопленочные материалы, Наноструктурные материалы, Тонкие пленки,