Разработка технологии получения p-n-гетеропереходов на основе оксидных полупроводников
Руководитель проекта: С.Е.Кумеков
Исполнители проекта: С.Е.Кумеков
Организация: Каз. нац. техн. ун-т им. К.И. Сатпаева
Инвентарный номер: 0207РК01286
Регистрационный номер: 0106РК01339
Ключевые слова: Полупроводники, Тонкие пленки, Тонкопленочные материалы,
Получены экспериментальные образцы пленок, исследована их структура. Обнаружено изменение толщины пленок в результате отжига.