Разработка технологии получения p-n-гетеропереходов на основе оксидных полупроводников
Full Name of the work head: С.Е.Кумеков
Исполнители проекта: С.Е.Кумеков
: Каз. нац. техн. ун-т им. К.И. Сатпаева
Inventory number: 0207РК01286
Registration number: 0106РК01339
Keywords: Полупроводники, Тонкие пленки, Тонкопленочные материалы,
Получены экспериментальные образцы пленок, исследована их структура. Обнаружено изменение толщины пленок в результате отжига.
