Исследование свойств нанокластеров дефектов и примесей в кремнии и использование нанокластеров в качестве гетерирующих центров
Full Name of the work head: Б.Н.Мукашев
Исполнители проекта: Б.Н.Мукашев
: Физ.-техн. ин-т
Inventory number: 0207РК01253
Registration number: 0107РК00572
Keywords: Кремний, Полупроводники, Дефекты кристаллических структур,
Отработан способ создания слоев пористого кремния, образованных микро- и нанокристаллами. Предложен гидротермальный способ введения высокой концентрации атомарного водорода в слои пористого кремния. Показана возможность проведения диффузии водорода в объем кремния из тонких слоев пористого кремния, насыщенного водородом. Определены температурные режимы диффузии водорода. Исследован эффект пассивации мелкой примеси.
