При ионно-плазменном распылении ниобия и вольфрама и соосаждении наночастиц при температуре 150-200 {o}C на перемещающуюся относительно потоков плазмы подложку получены твердые растворы-сплавы. В системе "ниобий - бериллий" при формировании покрытий нанослоями толщиной менее 1 нм происходит растворение бериллия в ниобии до концентрации бериллия 23 ат. %. При изохронном отжиге зафиксировано образование неизвестной ранее фазы Nb[3]Be. В системе "ниобий - медь" при наноразмерном легировании возможно значительное расширение границ растворимости компонент.