Исследование основных закономерностей формирования аморфных и наноструктурированных пленок кремния с использованием кремнийсодержащих кластерных соединений: силилфосфина, силилборана и силилэтилена
Full Name of the work head: Ф.А.Мукашев
Исполнители проекта: Е.А.Сванбаев
: НИИ эксперим. и теорет. физ. при КазНУ
Inventory number: 0207РК01188
Registration number: 0106РК00955
Keywords: Аморфный кремний, Силан, Кремний, Наноструктурные материалы,
Синтезирован газообразный силан. Определены рабочие температурные режимы получения нелегированных и легированных пленок аморфного и нанокристаллического кремния методом разложения силана в тлеющем разряде на постоянном токе. Разложением газовой смеси получены пленки аморфного гидрогенизированного кремния n-типа проводимости. Оптимальная температура подложки, при которой скорость осаждения пленок максимальна, - 450 {o}C. Изучена кинетика синтеза нелегированных пленок аморфного гидрогенизированного кремния.
