Национальные ресурсы / Отчеты о НИР

Исследование основных закономерностей формирования аморфных и наноструктурированных пленок кремния с использованием кремнийсодержащих кластерных соединений: силилфосфина, силилборана и силилэтилена

Руководитель проекта: Ф.А.Мукашев
Исполнители проекта: Е.А.Сванбаев
Организация: НИИ эксперим. и теорет. физ. при КазНУ
Инвентарный номер: 0207РК01188
Регистрационный номер: 0106РК00955
Ключевые слова: Аморфный кремний, Силан, Кремний, Наноструктурные материалы,