Разработка методов осаждения микро- и поликристаллических пленок полупроводникового кремния для создания тонкопленочных солнечных элементов
Full Name of the work head: Ф.А.Мукашев
Исполнители проекта: Е.А.Сванбаев
: НИИ эксперим. и теорет. физ. при КазНУ
Inventory number: 0207РК01187
Registration number: 0106РК00956
Keywords: Микрокристаллический кремний, Поликристаллический кремний, Кремний, Полупроводники, Тонкопленочные материалы, Тонкие пленки, Солнечные элементы,
Изготовлена установка для синтеза пленок микрокристаллического и поликристаллического кремния из силана. Определены температурные режимы осаждения пленок из силана. Рост пленок при магнетронном распылении зависит от тока разряда, расстояния "мишень - подложка", давления газа в камере распыления.
