Разработка и создание технологии получения нанодисперсных танталовых высокоемких конденсаторных порошков для изготовления уникальных компонентов микроэлектроники
Руководитель проекта: С.К.Кожахметов
Исполнители проекта: В.В.Шевляков
Организация: Науч.-произв. центр "Ульба"
Инвентарный номер: 0207РК01154
Регистрационный номер: 0107РК00481
Ключевые слова: Тантал, Наноструктурные материалы, Порошковые материалы,
Обоснована возможность получения нанопорошков на основе тантала размерностью 50-120 нм методами осаждения из растворов и низкотемпературной конденсации. Отработаны технологическая последовательность операций и параметры процессов.