Разработка и создание технологии получения нанодисперсных танталовых высокоемких конденсаторных порошков для изготовления уникальных компонентов микроэлектроники
Full Name of the work head: С.К.Кожахметов
Исполнители проекта: В.В.Шевляков
: Науч.-произв. центр "Ульба"
Inventory number: 0207РК01154
Registration number: 0107РК00481
Keywords: Тантал, Наноструктурные материалы, Порошковые материалы,
Обоснована возможность получения нанопорошков на основе тантала размерностью 50-120 нм методами осаждения из растворов и низкотемпературной конденсации. Отработаны технологическая последовательность операций и параметры процессов.
