Разработка и изготовление металлизированных фотошаблонов
Руководитель проекта: Косилбеков А.
Исполнители проекта: А.Садуакасов
Организация:
Инвентарный номер: 0296РК00626
Регистрационный номер: 0195РК00756
Ключевые слова: литография, металлизированные, фотошаблоны, технология, изготовление, документация,
Освоена технология производства прецизионных металлизированных фотошаблонов для полузаказных БИС частного применения. Представлен комплект документации. Даны анализ развития технологии переноса изображения на поверхность полупроводниковой пластины, перечень и характеристики современного литографического оборудования.