Разработка и изготовление металлизированных фотошаблонов
Full Name of the work head: Косилбеков А.
Исполнители проекта: А.Садуакасов
:
Inventory number: 0296РК00626
Registration number: 0195РК00756
Keywords: литография, металлизированные, фотошаблоны, технология, изготовление, документация,
Освоена технология производства прецизионных металлизированных фотошаблонов для полузаказных БИС частного применения. Представлен комплект документации. Даны анализ развития технологии переноса изображения на поверхность полупроводниковой пластины, перечень и характеристики современного литографического оборудования.
