Синтез моносилана и пиролитическое осаждение поликристаллического кремния для солнечной энергетики
Руководитель проекта: Б.Н.Мукашев
Исполнители проекта: Х.А.Абдуллин
Организация: Центр наук о Земле, металлург. и обогащ.
Инвентарный номер: 0206РК00994
Регистрационный номер: 0106РК00441
Ключевые слова: Кремний, Полупроводники, Моносилан, Поликристаллический кремний,
Спроектирована установка по производству моносилана. Создана пилотная линия. Отработан технологический регламент производства силана.