Синтез моносилана и пиролитическое осаждение поликристаллического кремния для солнечной энергетики
Full Name of the work head: Б.Н.Мукашев
Исполнители проекта: Х.А.Абдуллин
: Центр наук о Земле, металлург. и обогащ.
Inventory number: 0206РК00994
Registration number: 0106РК00441
Keywords: Кремний, Полупроводники, Моносилан, Поликристаллический кремний,
Спроектирована установка по производству моносилана. Создана пилотная линия. Отработан технологический регламент производства силана.
