Разработка научных основ методов получения материалов и структур для фотоэнергетики
Full Name of the work head: Х.А.Абдуллин
Исполнители проекта:
: Физ.-техн. ин-т
Inventory number: 0206РК00909
Registration number: 0106РК01048
Keywords: Поликристаллический кремний, Кремний, Полупроводники, Алюмотермия, Тонкопленочные материалы,
Проведены термодинамические расчеты высокотемпературного процесса взаимодействия алюминия с расплавами силикатных шлаков. Создана опытно-экспериментальная пилотная линия для получения силана и поликристаллического кремния. Отработаны режимы реактивного магнетронного напыления с получением тонких пленок кремния необходимого состава.
