Освоение новой технологии по электронной промышленности для получения фосфидгаллиевой приборной структуры
Руководитель проекта: Жунисбеков С.
Исполнители проекта: Т.А.Сералиев
Организация: Жамб.отд-ние ИА РК
Инвентарный номер: 0296РК00557
Регистрационный номер: 0195РК00347
Ключевые слова: фосфидгаллиевая, приборная, структура, газоэпитаксиальные, процессы, технология,
Разработана технология газоэпитаксиального процесса для создания фосфидгаллиевых приборов низкотемпературного применения. Изготовлены узлы технологической установки - газовый блок, нагревательная печь, кварцевый реактор и др. Область применения: электронная промышленность.