Освоение новой технологии по электронной промышленности для получения фосфидгаллиевой приборной структуры
Full Name of the work head: Жунисбеков С.
Исполнители проекта: Т.А.Сералиев
: Жамб.отд-ние ИА РК
Inventory number: 0296РК00557
Registration number: 0195РК00347
Keywords: фосфидгаллиевая, приборная, структура, газоэпитаксиальные, процессы, технология,
Разработана технология газоэпитаксиального процесса для создания фосфидгаллиевых приборов низкотемпературного применения. Изготовлены узлы технологической установки - газовый блок, нагревательная печь, кварцевый реактор и др. Область применения: электронная промышленность.
