Разработка методов осаждения микро- и поликристаллических пленок полупроводникового кремния для создания тонкопленочных солнечных элементов
Full Name of the work head: Ф.А.Мукашев
Исполнители проекта: Ф.А.Мукашев
: НИИ эксперим. и теорет. физ. при КазНУ
Inventory number: 0206РК00784
Registration number: 0106РК00956
Keywords: Силан, Кремний, Полупроводники,
Синтезированы силицид магния и на его основе силан. Оптимизированы температура и концентрация компонентов синтеза силицида магния (ферросилиций и металлический магний). Проведена глубокая очистка силана комбинированным криогенноцеолитовым методом. Исследовано влияние концентрации соляной кислоты на скорость получения силана. Оптимальная концентрация кислоты - 4 N. Получен силан с чистотой 99,999 %.
