Национальные ресурсы / Отчеты о НИР

Разработка методов осаждения микро- и поликристаллических пленок полупроводникового кремния для создания тонкопленочных солнечных элементов

Руководитель проекта: Ф.А.Мукашев
Исполнители проекта: Ф.А.Мукашев
Организация: НИИ эксперим. и теорет. физ. при КазНУ
Инвентарный номер: 0206РК00784
Регистрационный номер: 0106РК00956
Ключевые слова: Силан, Кремний, Полупроводники,