Исследование основных закономерностей формирования аморфных и наноструктурированных пленок кремния с использованием кремнийсодержащих кластерных соединений: силилфосфина, силилборана и силилэтилена
Full Name of the work head: Ф.А.Мукашев
Исполнители проекта: Ф.А.Мукашев
: НИИ эксперим. и теорет. физ. при КазНУ
Inventory number: 0206РК00783
Registration number: 0106РК00955
Keywords: Силан, Силилфосфин, Наноструктурные материалы, Кремний, Полупроводники,
Синтезированы силан и силилфосфин для полупроводниковой технологии с использованием технологических смесей с последующим их заводнением парами воды в среде инертного газа (гелий). Проведена глубокая очистка силана на цеолитах. Получены масс-спектрометрические данные, свидетельствующие о степени очистки силана 99,999 %. Разработана технология получения дешевого и чистого силицида магния, позволяющая организовать купномасштабное производство силана и кремнийсодержащих газов.
