ҒТА ұлттық қоры / ҒЗЖ туралы есептер

Исследование основных закономерностей формирования аморфных и наноструктурированных пленок кремния с использованием кремнийсодержащих кластерных соединений: силилфосфина, силилборана и силилэтилена

Жетекшінің аты-жөні, тегі: Ф.А.Мукашев
Work head: Ф.А.Мукашев
: НИИ эксперим. и теорет. физ. при КазНУ
Инвентарлық номер: 0206РК00783
Тіркелген номер: 0106РК00955
негізгі сөздер: Силан, Силилфосфин, Наноструктурные материалы, Кремний, Полупроводники,