Национальные ресурсы / Отчеты о НИР

Исследование основных закономерностей формирования аморфных и наноструктурированных пленок кремния с использованием кремнийсодержащих кластерных соединений: силилфосфина, силилборана и силилэтилена

Руководитель проекта: Ф.А.Мукашев
Исполнители проекта: Ф.А.Мукашев
Организация: НИИ эксперим. и теорет. физ. при КазНУ
Инвентарный номер: 0206РК00783
Регистрационный номер: 0106РК00955
Ключевые слова: Силан, Силилфосфин, Наноструктурные материалы, Кремний, Полупроводники,