Исследованы термически индуцированные процессы в слоистых системах альфа-Fe:O{+}-Be(0,7 мкм)-Fe(0,1 мкм) и альфа-Fe-Be(0,7 мкм)-Fe(0,1 мкм), полученных методами магнетронного и термовакуумного распыления атомов Be и Fe, обогащенных ядрами Fe. Отмечено влияние имплантированных ионов кислорода на термически индуцированные процессы. Выявлена последовательность фазовых превращений в приповерхностных слоях и объеме образца в процессе изотермического отжига. Показано, что имплантированный ионами кислорода слой в матрице альфа-Fe замедляет взаимную диффузию атомов бериллия и железа.