Разработка прозрачных, проводящих тонкопленочных покрытий n- и р-типа на основе оксидов металлов
Full Name of the work head: С.Ж.Токмолдин
Исполнители проекта: А.Б.Аймагамбетов
: Физ.-техн. ин-т
Inventory number: 0207РК00111
Registration number: 0103РК00727
Keywords: Тонкопленочные материалы, Полупроводники,
Исследованы технологические режимы роста тонких пленок оксидов металлов (олово, цинк), осажденных ионно-лучевым и магнетронным распылением на подложки из различных материалов. Определены поверхностное сопротивление, оптическая прозрачность, фоточувствительность, электрические характеристики пленок.
