Синтез полупроводниковых наноразмерных пленок с резкими границами
Full Name of the work head: С.Ж.Токмолдин
Исполнители проекта: В.В.Клименов
: Физ.-техн. ин-т
Inventory number: 0207РК00723
Registration number: 0107РК00190
Keywords: Полупроводники, Наноструктурные материалы, Плазмохимия,
Разработаны методы плазмохимического газофазного осаждения и молекулярно-лучевой эпитаксии наноразмерных пленок полупроводниковых соединений AB и AB. Получены многослойные квантовые наноструктуры с резкими границами.
