Национальные ресурсы / Отчеты о НИР

Синтез полупроводниковых наноразмерных пленок с резкими границами

Руководитель проекта: С.Ж.Токмолдин
Исполнители проекта: В.В.Клименов
Организация: Физ.-техн. ин-т
Инвентарный номер: 0207РК00723
Регистрационный номер: 0107РК00190
Ключевые слова: Полупроводники, Наноструктурные материалы, Плазмохимия,