Разработка технологии синтеза силана из силицидных сплавов и его очистки для получения высокочистого поликристаллического кремния
Руководитель проекта: Х.А.Абдуллин
Исполнители проекта:
Организация: Физ.-техн. ин-т
Инвентарный номер: 0207РК00722
Регистрационный номер: 0107РК00189
Ключевые слова: Силан, Кремний, Поликристаллический кремний,
Создана опытно-экспериментальная пилотная линия для получения силана, очистки в твердотельных адсорберах, осаждения кремния. Получены пробы силана, проведен анализ его состава.