Разработка технологии синтеза силана из силицидных сплавов и его очистки для получения высокочистого поликристаллического кремния
Full Name of the work head: Х.А.Абдуллин
Исполнители проекта:
: Физ.-техн. ин-т
Inventory number: 0207РК00722
Registration number: 0107РК00189
Keywords: Силан, Кремний, Поликристаллический кремний,
Создана опытно-экспериментальная пилотная линия для получения силана, очистки в твердотельных адсорберах, осаждения кремния. Получены пробы силана, проведен анализ его состава.
