ҒТА ұлттық қоры / ҒЗЖ туралы есептер

Разработка технологии синтеза силана из силицидных сплавов и его очистки для получения высокочистого поликристаллического кремния

Жетекшінің аты-жөні, тегі: Х.А.Абдуллин
Work head: 
: Физ.-техн. ин-т
Инвентарлық номер: 0207РК00722
Тіркелген номер: 0107РК00189
негізгі сөздер: Силан, Кремний, Поликристаллический кремний,