Национальные ресурсы / Отчеты о НИР

Разработка технологии синтеза силана из силицидных сплавов и его очистки для получения высокочистого поликристаллического кремния

Руководитель проекта: Х.А.Абдуллин
Исполнители проекта: 
Организация: Физ.-техн. ин-т
Инвентарный номер: 0207РК00722
Регистрационный номер: 0107РК00189
Ключевые слова: Силан, Кремний, Поликристаллический кремний,