Разработка и внедрение спецстойкой и экстратемпературостойкой электронной компонентной базы на основе структур "кремний на изоляторе"
Full Name of the work head: Ю.В.Горелкинский
Исполнители проекта: Х.А.Абдулин
: Физ.-техн. ин-т
Inventory number: 0206РК00143
Registration number: 0105РК00153
Keywords: Кремний, Тонкопленочные материалы, Полупроводники,
Определены технологические условия формирования полупроводниковых структур "кремний на изоляторе", устойчивых к спецвоздействиям (до 1 Мрад) с повышенной (до 120 {o}С) температуроустойчивостью. Получены экспериментальные образцы структур "кремний на изоляторе", проведены испытания в нормальных условиях. Разработана эскизная технология изготовления транзисторов на структурах "кремний на изоляторе".
