ҒТА ұлттық қоры / ҒЗЖ туралы есептер

Разработка и внедрение спецстойкой и экстратемпературостойкой электронной компонентной базы на основе структур "кремний на изоляторе"

Жетекшінің аты-жөні, тегі: Ю.В.Горелкинский
Work head: Х.А.Абдулин
: Физ.-техн. ин-т
Инвентарлық номер: 0206РК00143
Тіркелген номер: 0105РК00153
негізгі сөздер: Кремний, Тонкопленочные материалы, Полупроводники,