Завершение и ввод в эксплуатацию опытно-экспериментальной установки по получению поликристаллического полупроводникового кремния для солнечной энергетики моносилановым способом
Руководитель проекта: Б.Н.Мукашев
Исполнители проекта: Х.А.Абдуллин
Организация: Физ.-техн. ин-т
Инвентарный номер: 0205РК01220
Регистрационный номер: 0105РК00213
Ключевые слова: Поликристаллический кремний, Силан, Кремний, Полупроводники, Моносилан,
Спроектирована опытно-экспериментальная установка по получению поликристаллического полупроводникового кремния из кремнийсодержащих отходов фосфорного производства. Осуществлена проверка блоков оборудования, качества сборки узлов, проведены испытания на герметичность и избыточное давление опытной установки получения моносилана.