Завершение и ввод в эксплуатацию опытно-экспериментальной установки по получению поликристаллического полупроводникового кремния для солнечной энергетики моносилановым способом
Full Name of the work head: Б.Н.Мукашев
Исполнители проекта: Х.А.Абдуллин
: Физ.-техн. ин-т
Inventory number: 0205РК01220
Registration number: 0105РК00213
Keywords: Поликристаллический кремний, Силан, Кремний, Полупроводники, Моносилан,
Спроектирована опытно-экспериментальная установка по получению поликристаллического полупроводникового кремния из кремнийсодержащих отходов фосфорного производства. Осуществлена проверка блоков оборудования, качества сборки узлов, проведены испытания на герметичность и избыточное давление опытной установки получения моносилана.
