Завершение и ввод в эксплуатацию опытно-экспериментальной установки по получению поликристаллического полупроводникового кремния для солнечной энергетики моносилановым способом
Жетекшінің аты-жөні, тегі: Б.Н.Мукашев
Work head: Х.А.Абдуллин
: Физ.-техн. ин-т
Инвентарлық номер: 0205РК01220
Тіркелген номер: 0105РК00213
негізгі сөздер: Поликристаллический кремний, Силан, Кремний, Полупроводники, Моносилан,
Спроектирована опытно-экспериментальная установка по получению поликристаллического полупроводникового кремния из кремнийсодержащих отходов фосфорного производства. Осуществлена проверка блоков оборудования, качества сборки узлов, проведены испытания на герметичность и избыточное давление опытной установки получения моносилана.
