Исследование возможности создания СВЧ-приборов на основе свободных монокристаллических пленок арсенида галлия-алюминия
Full Name of the work head: Т.И.Таурбаев
Исполнители проекта: В.С.Антощенко
: НИИ эксперим. и теорет. физ. при КазНУ
Inventory number: 0205РК01033
Registration number: 0104РК00238
Keywords: Легирование, Пленочные материалы, Тонкопленочные материалы, Монокристаллы, Полупроводники, Люминесценция, СВЧ-приборы,
Определено влияние легирования пленок твердого раствора Al(Ga)As германием и оловом на структурное совершенство и упругую деформацию свободно расположенных тонкопленочных структур. Исследованы зонная структура и люминесценция. Построена энергетическая зонная диаграмма оптимизированной тонкопленочной структуры с барьером Шоттки. Область применения: СВЧ-электроника, микро- и эптоэлектроника.
