Исследование наноструктурированных материалов и твердотельных систем с целью создания материалов, приборов и устройств различного функционального назначения
Full Name of the work head: Б.Н.Мукашев
Исполнители проекта: Ю.В.Горелкинский
: Физ.-техн. ин-т
Inventory number: 0205РК00697
Registration number: 0103РК00432
Keywords: Полупроводники, Наноструктурные материалы, Кремний, Пористый кремний, Структура твердых тел, Фазообразование, Облучение материалов,
Обнаружены эффекты линейного возрастания концентрации носителей с ростом температуры от 50 до 350 {o}C и аномально сильного поглощения микроволнового излучения слоями пористого кремния после термического отжига при 400-500 {o}C. Окисление поверхности пористого кремния при 1000 {o}C ведет к эффективному геттерированию бора из объема нанокристаллитов. В процессе термического отжига на поверхности титана с нанесенным слоем алюминия формируются алюминидные фазы. Предварительное ионное облучение пленок влияет на формирование микроструктуры и кинетику образования алюминидных фаз.
